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      臺式X射線源 工作波長20nm 脈寬7ns 重復頻率10 Hz  

      激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。

      華北西南東北華中 Hongyu Chen 13124873453 同微信,可掃碼

       
      hongyu.chen@microphotons.com

      綜合技術咨詢 Deyan Pan 17612171289 同微信,可掃碼

       
      deyan.pan@microphotons.com

      華東西北華南 Daisy Lee 18602170419 同微信,可掃碼

       
      daisy@microphotons.com



      產品型號
      縱向   橫向
      型號 貨號 操作 名稱
      EUV-B-XRAY B80020087 20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns   [PDF] 工作波長 20nm;脈寬 7 ns;脈沖能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);轉換效率 0.45% ;等離子形狀 ? ~ 300 μm;重復頻率 10 Hz 8-10 weeks
      復制內容純文本
      產品特點

      ● 低殘留

      ● 高EUV能量(3.5 MJ)

      ● 最低耗氣量(氣體脈沖持續時間:<1 ms)

      ● 簡單目標氣體交換

      ● 桌面系統

      技術參數

      參數

      單位

      指標

      產品編號


      EUV-B-XRAY

      工作波長

      nm

      20nm

      脈寬

      ns

      7

      脈沖能量(Xe

      mJ

      3.5(4π sr, 2% BW)

      轉換效率

      %

      0.45

      等離子形狀

      NA

      ? ~ 300 μm

      重復頻率

      HZ

      10


      測試數據展示:

      tc.pngtc_副本.png


      tc1.png

      產品應用

      ● 計量:反射測量、吸收

      ● 光譜學(nexafs)

      ● 光學/傳感器測試

      ● EUV損壞調查

      ● 材料相互作用基礎研究

      ● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)

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